CD是指硅片上的最小特征尺寸。

[判断题] 芯片上的物理尺寸特征被称为关键尺寸，即CD。A . 正确B . 错误

[判断题] 多晶硅栅的宽度通常是整个硅片上最关键的CD线宽。A . 正确B . 错误

[判断题] 隙配合中最小间隙是指孔的下极限尺寸与轴的上极限尺寸之和。A . 正确B . 错误

[主观题]公差是指最大极限尺寸减去最小极限尺寸之差;( )此题为判断题(对，错)。

[判断题] 上偏差是最小极限尺寸与基本尺寸的代数差。A . 正确B . 错误

[填空题] 过流断面最小尺寸指叶轮、壳体等过流部件的（）截面的最小尺寸。

[问答题] 硅片关键尺寸测量的主要工具是什么？

[主观题]最小极限尺寸减去基本尺寸的代数差称为上偏差;( )此题为判断题(对，错)。

[单选题]尺寸公差是指上极限尺寸和下极限尺寸（）。A . 之和B . 之差C . 之积D . 之商

[填空题] 孔的最小实体尺寸是孔的（）尺寸，轴的最小实体尺寸是轴的（）尺寸。