[多选题]

干氧氧化法具备以下一系列的优点()。

A . 生长的二氧化硅薄膜均匀性好

B . 生长的二氧化硅干燥

C . 生长的二氧化硅结构致密

D . 生长的二氧化硅是很理想的钝化膜

E . 生长的二氧化硅掩蔽能力强

参考答案与解析:

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