[多选题]

下列有关曝光系统的说法正确的是（）。

A . 投影式同接触式相比，掩模版的利用率比较高

B . 接触式的分辨率优于接近式

C . 接近式的分辨率受到衍射的影响

D . 投影式曝光系统中不会产生衍射现象

E . 投影式曝光是目前采用的主要曝光系统

参考答案与解析：

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下列有关曝光曲线使用的叙述，正确的是（）

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