[单选题]

铜与氯形成的化合物挥发能力不好,因而铜的刻蚀无法以化学反应来进行,而必须施以()。

A . 等离子体刻蚀

B . 反应离子刻蚀

C . 湿法刻蚀

D . 溅射刻蚀

参考答案与解析:

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