[多选题]

晶片表面上的粒子是通过()到达晶片的表面。

A . 粒子扩散

B . 从气体源通过强迫性的对流传送

C . 化学反应

D . 被表面吸附

E . 静电吸引

参考答案与解析:

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()是因为吸附原子在晶片表面上彼此碰撞并结合所形成的。

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