[多选题]

真空镀膜室是由()几部分组成。

A . 钟罩

B . 蒸气源加热器

C . 衬底加热器

D . 活动挡板

E . 底盘

参考答案与解析:

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真空镀膜法

[名词解释] 真空镀膜法

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