在干法刻蚀的终点检测方法中，光学放射频谱分析法最常见，简述其工作原理和优缺点。

[问答题] 什么是干法刻蚀？什么是湿法刻蚀？比较二者的优缺点。

[填空题] 在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是（）、（）和（）。

[问答题,论述题] 根据原理分类，干法刻蚀分成几种？各有什么特点？

[问答题] 简述资料分析法的优缺点。

[判断题] 在CMP设备中被广泛采用的终点检测方法是光学干涉终点检测。A . 正确B . 错误

[问答题] 简述内容分析法的优缺点？

[问答题] 简述超外差频谱分析仪的工作原理。

[问答题] 在色谱分析中，色谱内标法和外标法各有何优缺点？

[问答题] 简述是风险识别的方法之一——事故树分析法的优缺点。

[问答题] 干法刻蚀有哪几种？相应的内容是什么？