[填空题]

抛光片的质量检测项目包括:几何参数,直径、()、主参考面、副参考面、平整度、弯曲度等;(),电阻率,载流子浓度,迁移率等;晶体质量,晶向,位错密度。

参考答案与解析:

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抛光片的电学参数包括电阻率,载流子浓度,迁移率,直径、厚度、主参考面等。()

[判断题] 抛光片的电学参数包括电阻率,载流子浓度,迁移率,直径、厚度、主参考面等。()A . 正确B . 错误

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