微细加工中的三束加工是指（），（），（）。

电子束可以实现精密微细加工A. 正确B. 错误

微细加工主要指微细尺寸零件大小在________________以下，加工精度为________________的加工。下列选项正确的是( )A. 1dm, 0

[名词解释] 微细加工

[名词解释] 微细加工工艺方法

[判断题] 电火花成型加工适宜加工低刚度工件及微细加工。A . 正确B . 错误

[填空题] （）是所有特种加工方法中最精密、最微细的加工方法，是当代毫微米加工（纳米加工）技术的基础。

[问答题] 简述微细加工工艺方法。

[问答题] 电子束加工,离子束加工和激光加工相比各自的使用范围如何,三者各有什么优缺点

[填空题] 微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

[判断题] 超声加工、电子束加工、激光加工都是特种机械加工方法。A . 正确B . 错误