[填空题]

干式法由于应力自由,因此既可以适用于切割()基片,又可以适用于高效率的过程。

参考答案与解析:

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干式法由于应力自由,因此即可以适用于切割大面积基片,又可以适用于()的过程。

[填空题] 干式法由于应力自由,因此即可以适用于切割大面积基片,又可以适用于()的过程。

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