[填空题]

压阻式压力传感器是利用半导体材料的()和集成电路工艺制成的传感器。

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集成压力传感器[1]是利用()材料的压阻效应和集成电路制成的传感器。

集成压力传感器[1]是利用()材料的压阻效应和集成电路制成的传感器。集成压力传感器[1]是利用()材料的压阻效应和集成电路制成的传感器。

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