某发明专利申请的权利要求1如下：“权利要求1：一种半导体器件，包括部件ABC。”下列哪些权利要求的撰写存在缺陷？（）

A.权利要求2：如权利要求1所述的制造半导体器件的方法，其特征在于d。

B.权利要求2：制造如权利要求1所述的半导体器件的方法，其特征在于e。

C.权利要求2：如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于所述部件f由铜制成。

D.权利要求2：如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于还包括部件g。