热氧化生长过程中,以下对氧化速率影响最大的因素是()。

A. 温度...

B. 硅片晶向.

C. 氧化剂压力

D. 掺杂水平

参考答案与解析:

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在以下几项中,热氧化生长速率影响因素中最大的是A. 温度B. 压力C. 掺杂D. 晶向

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    影响氧化速率的因素主要有氧化方式、氧化温度、硅片晶向、氧化剂压力、掺杂水平等,其中,湿氧氧化速率>水汽氧化速率>干氧氧化速率。A. 正确B. 错误

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