()是四氯化硅氢还原法、三氯氢硅氢还原法、硅烷热分解法都要经历的步骤,且反应原理一致。

A. 加碳还原成粗硅

B. 粗硅研磨成硅粉

C. 热分解生成多晶硅

D. 氢气还原

参考答案与解析:

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