以下因素中,不属于外延生长速率影响因素的是:

A. 抛光速度

B. 反应速度

C. 四氯化碳浓度

D. 衬底晶向

参考答案与解析:

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【单选题】以下各项中不属于影响气相外延(VPE)生长速率的因素有:

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