【多选题】关于硅表面氧化层,下面那种说法正确:

A. 是单晶薄膜,氧原子几乎都是桥联氧

B. 是非晶薄膜,有非桥联氧

C. 性质与制备工艺无关

D. 可作为器件的组成部分

参考答案与解析:

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关于硅表面氧化层,下面说法正确的是():

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