曝光后烘焙的作用有()
A. 降低驻波效应
B. 促进光刻胶的化学反应,提高光刻胶的粘附性
C. 防止光刻胶沾到设备上(保持器械洁净)
D. 缓和在旋转过程中光刻胶胶膜内产生的应力
参考答案与解析:
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