一个典型的化工生产装置通常是由一个反应器(有时多于一个)和具有提纯原料,中间 产物和产品的多个分离设备以及机、泵、换热器等构成。

1. 一个典型的化工生产装置通常是由一个反应器(有时多于一个)和具有提纯原料,中间 产物和产品的多个分离设备以及机、泵、换热器等构成。

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APCVD反应器中的硅片通常是平放在一个平面上。

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