[名词解释]

外延片

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硅外延片的应用包括（）。

[多选题] 硅外延片的应用包括（）。A . 二极管和三极管B . 电力电子器件C . 大规模集成电路D . 超大规模集成电路

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    • 延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、（）外延

    [填空题] 延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、（）外延、原子束外延、固相外延等。

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    • 在Si衬底材料之上生长C____(10)As外延层,这样的外延称为同质外延。

    在Si衬底材料之上生长C____(10)As外延层,这样的外延称为同质外延。A. 正确B. 错误

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    [单选题]半导体硅工业产品不包括（）①多晶硅②单晶硅③外延片④非晶硅A . ①②④B . ①②③④C . ②③④D . ③④

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