外延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、分子束外延、（）、固相外延等。

[填空题] 延生长方法比较多，其中主要的有（）外延、（）外延、金属有机化学气相外延、（）外延、原子束外延、固相外延等。

[名词解释] 分子束外延（MBE）

在Si衬底材料之上生长C____(10)As外延层,这样的外延称为同质外延。A. 正确B. 错误

[名词解释] 浮生（外延生长）

[问答题,论述题] 什么是固相外延（SPE）及固相外延中存在的问题？

外延制备的方法有:()A. 气相外延(VPE)B. 金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)C. 分子束外延(MBE)D. 液相外延(LPE)

[名词解释] 外延

[判断题] 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。A . 正确B . 错误

[多选题] 硅外延生长工艺包括（）。A . 衬底制备B . 原位HCl腐蚀C . 生长温度，生长压力，生长速度D . 尾气的处理

[名词解释] 外延产品