由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表年粗糙度稍差。

[名词解释] 离子束加工

[问答题] 离子束加工原理

[问答题] 离子束的加工方式？

[问答题] 简述离子束加工原理。

离子束加工主要是利用离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应,以下主要是利用离子撞击和溅射效应的离子束加工种类有A. 离子注入B. 离子刻蚀C.

[判断题] 激光加工与离子束加工要求有真空装置。A . 正确B . 错误

[问答题] 离子束加工的四种工作方式

[问答题] 离子束分析方法的优缺点？

[问答题] 电子束加工和离子束加工在原理上和应用范围上有何异同？

[问答题] 重离子束有哪些重要特点？