离子束加工主要是利用离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应,以下主要是利用离子撞击和溅射效应的离子束加工种类有

离子束加工像激光加工一样也是利用热效应进行加工的。A. 正确B. 错误

[名词解释] 离子束加工

[问答题] 离子束加工原理

[问答题] 离子束的加工方式？

[问答题] 简述离子束加工原理。

哪种表面改性技术利用高能离子束溅射材料表面，以改变材料表面的物理和化学性质？A. 化学气相沉积B. 离子束溅射法C. 激光表面处理D. 喷涂技术

[判断题] 离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。A . 正确B . 错误

[判断题] 激光加工与离子束加工要求有真空装置。A . 正确B . 错误

[问答题] 试述离子束加工的基本原理，特点和主要应用？

[判断题] 由于离子的质量远大于电子，故离子束加工的生产率比离子束高，但表年粗糙度稍差。A . 正确B . 错误