下列哪项不属于物理气相沉积技术的特点?()

A. 低温下操作

B. 可用于制备高纯度薄膜

C. 适用于复杂形状基材

D. 主要用于合成非金属材料

参考答案与解析：

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物理气相沉积

[名词解释] 物理气相沉积

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