物理气相沉积简称（）。

[名词解释] 物理气相沉积

[问答题] 物理气相沉积（PVD）

[问答题] 什么叫物理气相沉积，有何优缺点？

下列哪项不属于物理气相沉积技术的特点?()A. 低温下操作B. 可用于制备高纯度薄膜C. 适用于复杂形状基材D. 主要用于合成非金属材料

[问答题] 化学气相沉积与物理气象沉积技术的区别是什么，它们的主要应用场合？

[名词解释] 物理气相淀积（pvd）

[判断题] CVD为化学气相沉积技术的简称。A . 正确B . 错误

下列选项中,属于物理气相淀积方法的有()A. 水汽氧化法B. 蒸发法C. 溅射法D. 电镀法

单选题-|||-12.PEC VD的全称是?-|||-A等等子增强化学气相沉积-|||-B 物理化学气相沉积-|||-C 化学气相沉积-|||-D 等离子刻蚀

[名词解释] 相（沉积相）