热氧化过程中杂质在SiO2/Si界面的浓度是突变的,这是由杂质 ______ 引起的。(两个字)

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热氧化过程中,硅内靠近Si-SiO2 界面的杂质将在界面两边的硅和二氧化硅中形成再分布。对于k<1、二氧化硅中的慢扩散杂质,再分布之后靠近界面处二氧化硅中的杂质浓度比硅中高,硅表面附近浓

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