工业上最常用的多晶硅制备方法是（）

A. 直拉法

B. 三氯氢硅的氢还原法

C. 沉积法

D. 区熔法

参考答案与解析：

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多晶硅的制备方法有 。

多晶硅的制备方法有 。A. 三氯氢硅的氢还原法B. 二氯氢硅的氢还原法C. 硅烷的热分解法D. 直拉法

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