二氧化硅薄膜,能有效的对扩散杂质起掩蔽作用的基本条件有()

A. 杂质在硅中的扩散系数大于在二氧化硅中的扩散系数

B. 杂质在硅中的扩散系数小于在二氧化硅中的扩散系数

C. 二氧化硅的厚度大于杂质在二氧化硅中的扩散深度

D. 二氧化硅的厚度小于杂质在二氧化硅中的扩散深度

参考答案与解析:

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