二氧化硅膜能有效的对扩散杂质起掩蔽作用的基本条件有哪些()      ①杂质在硅中的扩散系数大于在二氧化硅中的扩散系数  ②杂质在硅中的扩散系数小于在二氧化硅中的扩散系数  ③二氧化硅的厚度大于杂质在二氧化硅中的扩散深度  ④二氧化硅的厚度小于杂质在二氧化硅中的扩散深度A.②④B.①③C.①④D.②③

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A.②④
B.①③
C.①④
D.②③

参考答案与解析:

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二氧化硅在扩散时能对杂质起掩蔽作用进行()扩散。

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