离子注入物质必须以带电粒子束或离子束的形式存在。

粒子束注入，离子掺杂可以对材料进行改性A. 对B. 错

[判断题] 粒子束武器按粒子的性质可分为带电粒子束武器和中性粒子束武器。A . 正确B . 错误

[名词解释] 离子束加工

离子注入深度通过控制离子束____来控制,而掺杂浓度的控制可通过控制注入离子________来实现，是两个独立控制过程。 离子注入深度通过控制离子束____来

离子束加工主要是利用离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应,以下主要是利用离子撞击和溅射效应的离子束加工种类有A. 离子注入B. 离子刻蚀C.

[判断题] 离子注入中静电扫描的主要缺点是离子束不能垂直轰击硅片，会导致光刻材料的阴影效应，阻碍离子束的注入。A . 正确B . 错误

[问答题] 离子束加工原理

[问答题] 离子束的加工方式？

[问答题] 简述离子束加工原理。

[问答题] 离子束分析方法的优缺点？