[单选题]恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为()分布。A . 高斯B . 余误差C . 指数
[单选题]恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为什么分布?()A .高斯函数B .余误差函数C .指数函数D .线性函数
固一固扩散是利用晶固表面含有所需杂质的氧化层作为杂质源进行扩散的方法。A. 正确B. 错误
[单选题]体源扩散模式的扩散参数为()A .AB .BC .CD .D
[单选题]面源扩散模式的扩散参数为()。A .AB .BC .CD .D
[填空题] 在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质,在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源,不再有新的杂质补充,这种扩散方式称为:()
常见的液态源扩散中用到的磷源有:A. POCl3B. 焦磷酸铝C. 偏磷酸硅D. PH3
[多选题] 下列可作为磷扩散源的是()。A . 磷钙玻璃B . 三氯氧磷C . 三氯化磷D . 磷烷E . 掺磷二氧化硅乳胶源