固一固扩散是利用晶固表面含有所需杂质的氧化层作为杂质源进行扩散的方法。

[填空题] 在扩散之前在硅表面先沉积一层杂质，在整个过程中这层杂质作为扩散的杂质源，不再有新的杂质补充，这种扩散方式称为：（）

[名词解释] 杂质固溶度

[问答题,论述题] 假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm-2。

[单选题]恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为（）分布。A . 高斯B . 余误差C . 指数

[判断题] 重力式分离器是利用液(固)体杂质密度不同进行分离的。A . 正确B . 错误

[填空题] 杂质在硅晶体中的扩散机制主要有两种，分别是（）扩散和（）扩散。杂质只有在成为硅晶格结构的一部分，即（），才有助于形成半导体硅。

[单选题]恒定表面源扩散的杂质分布在数学上称为什么分布？（）A .高斯函数B .余误差函数C .指数函数D .线性函数

[单选题]二氧化硅在扩散时能对杂质起掩蔽作用进行（）扩散。A . 预B . 再C . 选择

[多选题] 下列扩散杂质源中，（）不仅是硅常用的施主杂质，也是锗常用的施主杂质。A . 硼B . 锡C . 锑D . 磷E . 砷

[判断题] 重力式分离器是利用天然气、液(固)体杂质的质量不同来进行分离的。A . 正确B . 错误