假设进行一次受固溶度限制的预淀积扩散，从掺杂玻璃源引入的杂质总剂量为Qcm^-2。

扩散,可以分为三个步骤:预淀积、再扩散(杂质推进)、杂质激活。A. 正确B. 错误

固一固扩散是利用晶固表面含有所需杂质的氧化层作为杂质源进行扩散的方法。A. 正确B. 错误

[判断题] 在硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤：预淀积、推进和激活。A . 正确B . 错误

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，磷的扩散温度为（）。A . 600～750℃B . 900～1050℃C . 1100～1250℃D . 950～1100℃

[名词解释] 杂质固溶度

[名词解释] 预淀积

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，砷和锑的扩散温度为（）。A . 1050～1200℃B . 900～1050℃C . 1100～1250℃D . 1200～1350℃

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在950～1100℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。A . 4～6hB . 50min～2hC . 10～40minD . 5～10min

[单选题]在热扩散工艺中的预淀积步骤中，硼在900～1050℃的条件下，扩散时间大约（）为宜。A . 4～6hB . 50min～2hC . 10～40minD . 5～10min

[判断题] 晶体管的源漏区的掺杂采用自对准技术，一次掺杂成功。A . 正确B . 错误