[单选题]

表示杂质在硅-二氧化硅界面处重新分布的性质和程度,习惯上常用()。

A . 分凝度

B . 固溶度

C . 分凝系数

D . 扩散系数

参考答案与解析:

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热氧化过程中,硅内靠近Si-SiO2 界面的杂质将在界面两边的硅和二氧化硅中形成再分布。对于k<1、二氧化硅中的慢扩散杂质,再分布之后靠近界面处二氧化硅中的杂质浓度比硅中高,硅表面附近浓

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