电子刻蚀加工主要是通过热效应对工件进行加工，而离子刻蚀加工主要是通过（）效应对工件进行加工。

5判断电子束加工是通过热效应进行加工的。A. √B. ×

[填空题] 微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

离子束加工主要是利用离子束射到材料表面时所发生的撞击效应、溅射效应和注入效应,以下主要是利用离子撞击和溅射效应的离子束加工种类有A. 离子注入B. 离子刻蚀C.

[单选题]工件镗削加工结束，镗工应对工件进行（）。A . 互检B . 自检C . 抽检

离子束加工像激光加工一样也是利用热效应进行加工的。A. 正确B. 错误

[单选题]工件镗削加工结束后，镗工应对工件进行（）。A . 互检B . 自检C . 抽检

[单选题]硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）。A . 体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；B . 体刻蚀加工不对基体材料进行加工，而面刻蚀加工对衬底材料进行加工；C . 体刻蚀加工可获得高纵横比的结构，而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构；

[单选] 硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于（）A. 体刻蚀加工对基体材料进行加工，而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工；B. 体刻蚀加工不对基体材料进行加工

[单选题]流通加工主要是为促进与便利（）而进行的加工。A . 流通B . 增值C . 物流效率D . 物流与销售

超声加工主要是依靠()作用进行加工的A. 鹰粒的挑步B. 身粒的增去C. 插制D. 超声频振动