光刻加工的工艺过程为：（）

[问答题] 什么是光刻加工技术？试简述光刻加工的原理和工艺流程。

[填空题] 微细加工工艺方法主要有：（），光刻加工，体刻蚀加工技术，面刻蚀加工技术，LIGA技术，（）和（）。

[问答题] 试述光刻加工的主要阶段？

[判断题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A . 正确B . 错误

[问答题] 什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？

[名词解释] 加工工艺过程

[填空题] 机械加工工艺过程是在（）方法加工零件的工艺过程。

[名词解释] 机械加工工艺过程

[名词解释] 切削加工工艺过程

[问答题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？