干法刻蚀的优点包括___

A. 刻蚀剖面各向异性,非常好的侧壁剖面控制

B. 最小的光刻胶脱落或粘附

C. 好的片内、片间、批次间的刻锉均匀性

D. 对下层材料的刻锉选择比较好

参考答案与解析：

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