A. 正确
B. 错误
一般湿法刻蚀是各向同性,而干法刻蚀则是各向异性。A. 正确B. 错误
[判断题] 干法刻蚀是亚微米尺寸下刻蚀器件的最主要方法,湿法腐蚀一般只是用在尺寸较大的情况下刻蚀器件,例如大于3微米。A . 正确B . 错误
干法刻蚀选择性比湿法腐蚀好。A. 对B. 错
[判断题] 与干法刻蚀相比,湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比,对器件不会带来等离子体损伤,并且设备简单。A . 正确B . 错误
[问答题] 什么是干法刻蚀?什么是湿法刻蚀?比较二者的优缺点。
干法刻蚀的优点包括___A. 刻蚀剖面各向异性,非常好的侧壁剖面控制B. 最小的光刻胶脱落或粘附C. 好的片内、片间、批次间的刻锉均匀性D. 对下层材料的刻锉选
铝常常采用的干法刻蚀气体为:A. BClxB. Cl2C. HFD. HCl
[填空题] 在干法刻蚀中发生刻蚀反应的三种方法是()、()和()。
在干法刻蚀中,适当的掺杂氢原子会降低刻蚀速度,而掺杂氧原子则会提高刻蚀速度。A. 正确B. 错误
利用物理的轰击作用实现干法刻蚀的是:A. 等离子体刻蚀B. 干法刻蚀C. 反应离子刻蚀D. 溅射刻蚀