晶圆主要分为无图案晶圆,该两种晶圆的性质不同,其实际的缺陷也存在着明显的不同。造成晶圆表面出现缺陷的原因有多种,一方面来自于晶圆本身材质的问题,另一方面来自于晶圆在实际生产中所造成的缺陷。请选择出下列常见的晶圆表面缺陷有哪些:()。

A. 表面冗余物

B. 晶体缺陷

C. 划痕

D. 图案缺陷

参考答案与解析:

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