对RTP来说，很难在高温下处理大直径晶圆片而不在晶圆片边缘造成热塑应力引起的滑移。分析滑移产生的原因。如果温度上升速度加快后，滑移现象变得更为严重，这说明晶圆片表面上的辐射分布是怎样的？

8英寸的晶圆直径大小为:( )。A. 125mmB. 150mmC. 200mmD. 300mm

晶圆主要分为无图案晶圆,该两种晶圆的性质不同,其实际的缺陷也存在着明显的不同。造成晶圆表面出现缺陷的原因有多种,一方面来自于晶圆本身材质的问题,另一方面来自于晶

[问答题] 晶圆的英文是什么？简述晶圆制备的九个工艺步骤。

晶向的晶圆破碎成什么形状?A. 四方形或者直角B. 三角形C. 菱形D. 球形

[填空题] 晶圆制备中的整型处理包括（）、（）和（）。

旋转涂胶时,高速转动的结果是可以使光刻胶在晶圆表面堆积(边缘珠子),可以直接用溶剂喷洒到晶圆正面和背面边缘附近即可。A. 正确B. 错误

CZ法和悬浮区熔法都可以用于制作晶圆,但是()比较常用,便宜并且可以制作大尺寸的晶圆,()可以制作纯度较高的晶圆。A. CZ法,CZ法B. 悬浮区熔法，悬浮区熔

晶圆制造工艺在（）无尘车间内进行。A. 三十万级B. 千级C. 百级D. 十万级

[单选题]刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。A . 选择性B . 均匀性C . 轮廓D . 刻蚀图案

[单选题]解理断裂是金属在正应力作用下，由于晶内原子间的结合键而造成的穿晶断裂，所以（）晶格的金属一般不发生解理断裂。A . 体心立方B . 六方C . 面心立方D . 化合物