什么是外延层？为什么硅片上要使用外延层？

[问答题] 什么是外延层？为什么在硅片上使用外延层？

[名词解释] 外延层

[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，即外延层。A . 正确B . 错误

[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，分为同质外延和异质外延两大类。A . 正确B . 错误

[判断题] 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。A . 正确B . 错误

在Si衬底材料之上生长C____(10)As外延层,这样的外延称为同质外延。A. 正确B. 错误

[问答题] 什么叫外延意义？

常用于测量外延层厚度的方法是:A. 磨角染色法B. 滚槽法C. 范德堡法D. 层错法

[问答题,论述题] 什么是固相外延（SPE）及固相外延中存在的问题？

[填空题] 外延层的迁移率低的因素有原材料纯度（）；反应室漏气；外延层的晶体（）；系统沾污等；载气纯度不够；外延层晶体缺陷多；生长工艺条件不适宜。