A . 正确
B . 错误
[判断题] 外延就是在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层,即外延层。A . 正确B . 错误
在Si衬底材料之上生长C____(10)As外延层,这样的外延称为同质外延。A. 正确B. 错误
制备完整单晶薄膜的沉积条件是______和______,其生长模式为______。外延生长(在完整的单晶衬底上延续生长单晶薄膜)条件:______和______
[判断题] 高阻衬底材料上生长低阻外延层的工艺称为正向外延。A . 正确B . 错误
在外延工艺中,如果膜和衬底材料相同,例如硅衬底上长硅膜,这样的膜生长称为同质外延;反之,膜和衬底材料不一致的情况,例如硅衬底上长氧化铝,则称为异质外延。()A.
[问答题] 什么是外延层?为什么在硅片上使用外延层?
[问答题] 什么是外延层?为什么硅片上要使用外延层?
外延工艺就是在晶体衬底上,用物理的或化学的方法生长 薄膜。?外延工艺就是在晶体衬底上,用物理的或化学的方法生长 薄膜。?