（）是测量在刻蚀过程中物质被移除的速率有多快的一种参数。

[单选题]在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。A . 铜B . 铝C . 金D . 二氧化硅

[单选题]在刻蚀二氧化硅过程中假如我们在CF4的（）内加入适量的氢气，能够降低刻蚀的速率。A . 气体B . 等离子体C . 固体D . 液体

[单选题]刻蚀要求在整个晶圆上有一个均匀的刻蚀速率，（）是在晶圆上由测量刻蚀过程前后特定点的厚度，并计算这些点的刻蚀速率而得到的。A . 选择性B . 均匀性C . 轮廓D . 刻蚀图案

[填空题] 吸附是一种物质（）在另一种物质表面上的过程，被吸附的物质称为（）。

[判断题] 在促进扩散过程中，载体蛋白对被运输物质具有较高的专一性，一种载体蛋白只能运输一种物质。（）A . 正确B . 错误

[问答题] 定义刻蚀速率并描述它的计算公式。为什么希望有高的刻蚀速率？

[单选题]下列参数中，（）是指调节过程中，被调参数的测量值偏离给定值的最大数值A . 最大偏差B . 衰减比C . 余差D . 过渡时间

[单选题]压力表在刻度盘上刻有的红线是代表下列哪一种参数？A . 最低工作压力B . 最高工作压力C . 中间工作压力

[单选题]在吸附过程中，能将另一种物质吸附于其表面上的物质称为（），被吸附的物质成为吸附质。A .吸附质B .吸附剂C .吸附液D .被吸附的物质

[判断题] 刻蚀速率通常正比于刻蚀剂的浓度。A . 正确B . 错误