在刻蚀二氧化硅过程中假如我们在CF₄的（）内加入适量的氢气，能够降低刻蚀的速率。

[单选题]在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。A . 铜B . 铝C . 金D . 二氧化硅

[判断题] 在刻蚀中用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅。A . 正确B . 错误

[单选题]晶硅栅极刻蚀最大的挑战就是对二氧化硅的高选择性。超薄的（）使得在刻蚀多晶硅电极时对它的刻蚀要尽可能的小。A . n型掺杂区B . P型掺杂区C . 栅氧化层D . 场氧化层

[单选题]下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是（）。A .4HF+Si=SiF4+2H2↑B .CF4+SiO2——→SiF4+CO2↑C .CF4+SiO2+O2——→SiF4+CO2↑D . D.SiO2+4HF——→SiF4+2H2O

[问答题,论述题] 采用CF4作为气体源对SiO2进行刻蚀，在进气中分别加入O2或H2对刻蚀速率有什么影响？随着O2或H2进气量的增加，对Si和SiO2刻蚀选择性怎样变化？为什么？

[单选题]二氧化硅A．阴离子乳化剂B．非离子乳化剂C．天然乳化剂D．固体微粒乳化剂E．辅助乳化剂

[单选题]哪种类型的二氧化硅致纤维化作用最强A．游离二氧化硅B．结合二氧化硅C．结晶型游离二氧化硅D．隐晶型游离二氧化硅E．无定型游离二氧化硅

[单选题]游离二氧化硅是指未与（）及金属氧化物结合的二氧化硅。A . 水B . 煤屑C . 非金属D . 金属

[单选题]石材的二氧化硅含量越高越耐酸，以下哪种石材的二氧化硅含量最高？（　　）A.安山岩B.玄武岩C.花岗岩D.石英岩

[单选题]电焊烟尘中含有7%～16%的二氧化硅，长期吸入大量二氧化硅会造成（）。A . 贫血；B . 硅肺病；C . 鼻腔溃疡；D . 气管炎。