[单选题]

下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是（）。

A .4HF+Si=SiF4+2H2↑

B .CF4+SiO2——→SiF4+CO2↑

C .CF4+SiO2+O2——→SiF4+CO2↑

D .SiO2+4HF——→SiF4+2H2O

参考答案与解析：

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