[单选题]

单晶硅刻蚀一般采用()做掩蔽层,以氟化氢为主要的刻蚀剂,氧气为侧壁钝化作用的媒介物。

A . 氮化硅

B . 二氧化硅

C . 光刻胶

D . 多晶硅

参考答案与解析:

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