为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀之后的残留物使其发生腐蚀，必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物。

[判断题] 高密度等离子体刻蚀机是为亚0.25微米图形尺寸而开发的最重要的干法刻蚀系统。A . 正确B . 错误

[单选题]在刻蚀（）过程中假如我们在CF5的等离子体内加入适量的氧气，能够提高刻蚀的速率。A . 铜B . 铝C . 金D . 二氧化硅

[多选题] 下列物质的等离子体适合用以刻蚀铝合金中硅的有（）。A . CF4B . BCl3C . Cl2D . F2E . CHF3

[名词解释] 等离子体

[名词解释] 低温等离子体

[名词解释] 等离子体加工

[单选题]从焦渣中减去（）之后，余下的残留物应为固定碳。A . 灰分；B . 水分；C . 硫分；D . 挥发分。

[单选题]在重整装置中，由于氯化物沉积和腐蚀常引起设备故障，要解决氯化物沉积和腐蚀，就必须除去（）。A . 四氯化碳B . 氯化氨C . 盐酸

[名词解释] 等离子体接枝聚合

[问答题] 什么是等离子体？