[单选题]

()是与气体辉光放电现象密切想关的一种薄膜淀积技术。

A . 蒸镀

B . 离子注入

C . 溅射

D . 沉积

参考答案与解析:

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电弧是一种气体游离放电现象。

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    [名词解释] 辉光放电

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