氮化硅(Si3N4)是一种高温陶瓷材料,它难溶于水、硬度大、熔点高、化学性质稳定。则由此推测氮化硅是( )A. 离子晶体B. 分子晶体C. 原子晶体D. 金属晶
[单选题]下列关于耐高温新型陶瓷——氮化硅(Si3N4)的叙述,正确的是A.氮化硅中Si、N两种元素的质量比为4:3B.氮化硅中氮元素的质量分数为60%C.14g氮化硅中含硅8.4gD.氮化硅的相对分子质量为l44
氮化硅 (Si3N4) 是一种新型的耐高温耐磨材料,在工业上有广泛用途,它属于( )A. 原子晶体B. 分子晶体C. 金属晶体D. 离子晶体
氮化硅(Si3N4)是一种新型陶瓷材料,它可由石英与焦炭在高温的氮气流中,通过如下反应制得:□ _(1)(O)_(2)+ □ C+|| N2 _(3)(N)_(
[问答题] 简述非晶氢化氮化硅(α-SiNx:H)薄膜的优点及其制备工艺。
[问答题] Si3N4材料在半导体工艺中能否用作层间介质,为什么?请举两例说明Si3N4在集成电路工艺中的应用。
[判断题] 常用于作吸附剂使用的是β-Si3N4。()A . 正确B . 错误
[问答题] 叙述氮化硅的湿法化学去除工艺。
氮化硅常常采用的干法刻蚀气体为:A. HFB. NF3C. HClD. Cl2
氮化硅是一种新型陶瓷材料,它可由石英与焦炭在高温的氮气流中,通过以下反应制得: ____ SiO2+ ____ C+ ____ N2stackrel(高温)(⇌