光刻胶的成分包含:

光刻胶的主要成分有()A. 聚合物材料B. 感光剂C. 溶剂D. 添加剂

[问答题] 解释光刻胶显影。光刻胶显影的目的是什么？

[判断题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是正性光刻胶。A . 正确B . 错误

曝光后,光刻胶由可溶变成不溶,该种光刻胶是正胶。A. 正确B. 错误

[问答题] 例举出两种光刻胶显影方法。例举出7种光刻胶显影参数。

环化橡胶类光刻胶是负胶。A. 正确B. 错误

[判断题] 如果光刻胶在曝光前可溶于某种溶液而经过曝光后不可溶，则这种光刻胶为正胶。A . 正确B . 错误

光刻胶的性能指标包括:。A. 灵敏度B. 分辨率C. 黏附性D. 抗蚀性

[问答题] 最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶？

[多选题] 光刻胶的光学稳定通过（）来完成的。A . 红外线辐射B . X射线照射C . 加热D . 紫外光辐射E . 电子束扫描