例举并解释硅中固态杂质扩散的三个步骤。

[填空题] 硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤（）、（）和（）。

[判断题] 在硅中固态杂质的热扩散需要三个步骤：预淀积、推进和激活。A . 正确B . 错误

扩散,可以分为三个步骤:预淀积、再扩散(杂质推进)、杂质激活。A. 正确B. 错误

[问答题] 例举得到半导体级硅的三个步骤。半导体级硅的纯度能达到多少？

[问答题,论述题] 以P2O5为例，多晶硅中杂质扩散的方式及分布情况。

影响杂质扩散系数D的因素有:A. 温度B. 浓度梯度C. 扩散的杂质D. 衬底的材料

[问答题] 例举并描述薄膜生长的三个阶段。

【多选题】影响杂质扩散系数D的因素有:A. 温度B. 浓度梯度C. 扩散的杂质D. 衬底的材料

晶体中的空位、自填隙、杂质都对杂质扩散有影响，其中空位对P、B等慢扩散杂质的影响最大。A. 正确B. 错误

[问答题] 例举并描出旋转涂胶的4个基本步骤。